? 上海勤为智能科技有限公司
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            全自动传片机

            全自动传片机是针对晶圆的全自动倒片、理片机;可从一个Wafer Cassette传递到另外一个Wafer Cassette,通过参数设定可实现Up Ranking、down Ranking及自定义方式传递,采用X、Y、Z  三轴机械走位及陶瓷手柄实现高精度定位,确保产品在传递过程的安全。设备可适用12寸8寸晶圆及各种标准料盒,也可订制非标料盒,设备采用工控机控制,15寸触摸操作人机界面,操作简易方便。

            产品详情

            技术参数:

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            产品特点:

            陶瓷Robot取放产品;

            X,Y,Z三轴机械手精准定位;

            支持各种半导体标准Wafer Cassette,自动Mapping扫描;

            工控机控制,运行稳定;

            15寸触摸屏显示操作,方便简洁;

            参数可自由设定调用;

            传片方式有Up Ranking,down Ranking模式也可自定义模式;

            固定式或手柄式Bar Code Reader读取料盒条形码;

            可配置去离子装置;

            可订制Sec Gem功能;

            Uph>100片/小时(不含定位功能)。


            注:图文数据均以厂家提供为准。

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